离子镀膜机是做什么产品的
优点:1、靶材粒子能量高(比热蒸发高出1个数量级),所制备膜层更致密,与基板结合力更高;2、一般备有辅助离子源,可以用来清洗基板,清洗效果好;3、易于制备熔点高的材料;版权归百科完回答青网断站或间原算作者所有4、制备合金膜层,可以保证膜层材料比例与靶材相同;5、由于装有中和器,也可以用来制备绝缘膜层;作产化现还文较指整技团。
缺点:1、一般镀膜速率较慢,几十埃每秒;2、离子源清理和中和器灯丝更换较频繁;中主三业期先口场,研易。
3、不适宜制备较大面积薄膜;除有机材料和易分解的材料,一般都可以用离子束溅射镀膜,氧化物膜层的制备需要辅助通氧。
tags:
制备